真空計測器是用于測量真空度或氣壓的儀器,廣泛應用于科研、工業(yè)、制造等領域。隨著科技的發(fā)展,真空計測器的種類和應用范圍也在不斷擴大。 一、工作原理
1.皮拉尼真空計
皮拉尼真空計是一種熱傳導式真空計,利用了氣體熱傳導性與壓力有關的原理。它通過測量保持在不同溫度的兩固定元件表面間熱能的傳遞來測量壓力。具體來說,皮拉尼真空計利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來進行測量,而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率密切相關。
2.熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)的工作原理是利用熱陰極發(fā)射電子,然后通過正電場將電子加速至高速,進而碰撞氣體分子,使其電離。離子會在電場中移動并被收集,通過測量電離電流來計算出真空度。熱陰極電離規(guī)由熱陰極、陽極和磁鏡等部分組成。
3.冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)也稱為潘寧規(guī),和熱陰極電離規(guī)類似,仍是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰極電離規(guī)不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。
4.麥克勞真空計
麥克勞真空計是根據(jù)理想等溫壓縮的波義耳—馬略特定律設計而成。它通過轉動式壓縮的方式,測量氣體的壓強。由于它可以通過本身的參數(shù),直接算得壓強值,所以它除了進行壓強測量外,還可以作為絕真空計用來校驗一些相對真空計。

二、應用前景
1.科學研究
在科學研究中,例如,在粒子物理實驗中,需要高真空環(huán)境來確保實驗的準確性。可以實時監(jiān)測真空度,確保實驗條件的穩(wěn)定。
2.工業(yè)生產(chǎn)
在工業(yè)生產(chǎn)中,廣泛應用于真空鍍膜、真空干燥、真空包裝等工藝。這些工藝對真空度有嚴格的要求,可以提供精確的測量數(shù)據(jù),確保產(chǎn)品質量。
3.醫(yī)療領域
在醫(yī)療領域,用于真空泵、真空吸引器等設備的監(jiān)測。這些設備在手術、治療等過程中發(fā)揮著重要作用,可以確保設備的正常運行。
4.航空航天
在航空航天領域,用于模擬太空環(huán)境、測試航天器的密封性等。這些應用對真空度的要求很高,可以提供高精度的測量數(shù)據(jù),確保航天任務的安全。
5.環(huán)境監(jiān)測
在環(huán)境監(jiān)測中,可以用于測量大氣壓力、監(jiān)測氣體泄漏等。這些應用有助于環(huán)境保護和污染控制。